双面刷洗机

## 产品特点 - 全自动化操作流程 - 多槽位独立温控系统 - 高精度化学液配比 - 实时在线监测功能 ## 技术参数 - 适用晶圆尺寸：6/8英寸 - 清洗槽数量：4槽 - 温度控制范围：室温-90℃ - 产能：每小时30片 - 洁净度等级：Class 100 ## 规格参数 电源：380V/50Hz | 功率：15kW | 外形尺寸：2800×1500×1800mm | 重量：2500kg